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美国联邦标准FS209的空气洁净度级别
美国联邦标准FS209的空气洁净度级别
级别名称 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 5um
容积单位 容积单位 容积单位 容积单位 容积单位
国际单位 英制单位 (m3)(ft3) (m3)(ft3) (m3)(ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3)
M1.5 1 1240 35.3 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 .......
M2.5 10 1240 350 26500 750 1060 30.0 353 10.0 .......
M3.5 100 ... ... 26500 750 10600 300 3530 100 .......
M4.5 1000 ... ... ... ... ... ... 35300 100 247.7 7.00
M5.5 10000 ... ... ... ... ... ... 353000 1000 2470 70.0
M6.5 100000 ... ... ... ... ... ... 3530000 100000 247000 700
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