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气载微业洁净等级（ISO 14644-1）
气载微业洁净等级（ISO 14644-1）

气载微业洁净等级（ISO 14644-1）
气载微业洁净等级（ISO 14644-1）
ISO Classification Number Maxlmum Concentration limit(particles/M3of air)
equal to or larger than considered sizes shown bolew
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
ISI01 10 2 　 　 　 　
ISI02 100 24 10 4 　 　
ISI03 1,000 237 102 35 　 　
ISI04 10,000 2,370 1020 352 83 　
ISI05 100,000 237,000 10,2000 3,520 832 29
ISI06 1,000,000 237,000 102,000 35,5200 8,320 293
ISI07 　 　 　 352,000 83,200 2,930
ISI08 　 　 　 3,520,000 832,000 29,300
ISI09 　 　 　 35,200,000 8,320,000 293,000
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